TFT technologija buvo sukurta 1990 m. Jis naudoja naujas medžiagas ir naujus procesus didelio masto puslaidininkių visiškai integruotų grandinių gamybos technologijoms. Jis naudojamas skystųjų kristalų (LC), neorganinių ir organinių plonų plėvelių elektroliuminescencijos (EL ir OEL) plokščiaekraniams ekranams rodyti. pagrindu. TFT yra ne viena plokštelė, tokia kaip stiklo ar plastiko pagrindas (be abejo, jis gali būti ir ant plokštelės) purškimo ir cheminio nusodinimo procesais, siekiant suformuoti įvairias plėveles, reikalingas grandinėms gaminti, ir didelio masto puslaidininkines integrines grandines ) gaminamos perdirbant plėveles. . Ne pavienių kristalų substratų naudojimas gali žymiai sumažinti išlaidas ir yra tradicinių didelio masto integrinių grandynų išplėtimas į didelio ploto, daugiafunkcines ir pigias kryptis. Techniškai sudėtingiau gaminti TFT, reguliuojančius pikselių (LC arba OLED) perjungimo našumą ant didelio ploto stiklo ar plastiko pagrindų, nei gaminti didelio masto IC ant silicio plokštelių. Reikalavimai gamybos aplinkai (gryninimo laipsnis yra 100), žaliavų grynumo reikalavimai (specialių elektroninių dujų grynumas yra 99,999985%), gamybos įrangos ir gamybos technologijos reikalavimai viršija didelio masto puslaidininkių integraciją. . Tai šiuolaikinės didelės apimties gamybos viršūnė. technologija. Pagrindinės jo savybės yra šios:
(1) Didelis plotas: pirmosios kartos didelio ploto stiklo substrato (300 mm × 400 mm) TFT-LCD gamybos linija buvo pradėta gaminti 1990-ųjų pradžioje. Pirmąjį 2000 m. Pusmetį stiklo pagrindo plotas buvo išplėstas iki 680 mm × 880 mm), o stiklo pagrindo dydis buvo 950 mm × 1200 mm. Stiklo pagrindas taip pat bus pradėtas eksploatuoti. Iš esmės nėra jokių ploto apribojimų.
(2) Didelė integracija: skystųjų kristalų projekcijai naudojama 1,3 colio TFT lusto skiriamoji geba yra XGA, kurioje yra milijonai taškų. 16,1 colio TFT matricos amorfinio silicio, kurio skiriamoji geba yra SXGA (1280 × 1024), plėvelės storis yra tik 50 nm, o „TAB ON GLASS“ ir „SYSTEM ON GLASS“ technologijos, jos IC integravimas, reikalavimai įrangai ir tiekimo technologijai ir visi techniniai sunkumai viršija tradicinius LSI.
(3) Galingos funkcijos: TFT pirmą kartą buvo naudojama kaip matricos vietos grandinė, siekiant pagerinti skystųjų kristalų šviesos vožtuvo charakteristikas. Didelės skiriamosios gebos ekranams reguliuojant įtampą nuo 0 iki 6 V (paprastai nuo 0,2 iki 4 V) pasiekiamas tikslus objekto valdymas, leidžiantis LCD gauti aukštos kokybės ir didelės skiriamosios gebos ekranus. TFT-LCD yra pirmasis plokščiaekranis ekranas žmonijos istorijoje, kurio ekrano kokybė viršija CRT. Žmonės pradeda integruoti tvarkyklės IC ant stiklo pagrindo, o viso TFT funkcija bus galingesnė, o tai neprilygsta tradicinėms didelio masto puslaidininkinėms integruotoms grandinėms.
(4) Maža kaina: stiklo pagrindas ir plastikinis pagrindas iš esmės išsprendžia didelių matmenų puslaidininkių integrinių grandinių sąnaudų problemą ir atveria plačią erdvę didelio masto puslaidininkinių integrinių grandinių pritaikymui.
